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  • KTL-CVD-1700-1400雙溫區CVD系統
KTL-CVD-1700-1400雙溫區CVD系統

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  • 型號: KTL-CVD-1700-1400
  • 產品描述︰CVD系統由供氣系統+雙溫區管式爐+抽氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
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CVD系統由供氣系統+雙溫區管式爐+抽氣系統組成 ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

這款CVD系統是由8路供氣系統+TL1700-1400雙溫區管式爐+真空系統組成

KTL1700-1400 雙溫區管式爐:以1800型 鉬棒和 碳棒為加熱元件,有兩個加熱區,采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表,每個加熱區能進行30段程序控溫,移相觸發、可控 控制,爐膛采用氧化鋁多晶縴維材料,爐管兩端裝有不銹鋼法蘭,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,該爐為臥式,兩個溫區可以獨立控制、設置不同的溫度,使用方便,操作簡單,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。

 

 

 

(1)、 鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負荷低,使用壽命長。

2)、采用的是熱彎技術,電阻均勻,使用壽命長

(3)、Lu冷端長度為210mm, 400X300X300爐子為260 ,一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。

(4)、 鉬棒表面氧化非晶膜致密,能夠比較好的保護 鉬棒。  

 

當電路過流或漏電時,空開會自動斷開

該氣氛管式爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,並能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,並能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出


 


(1)、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶縴維固化爐膛。

(2)、采用日本技術成型。

(3)、爐膛材料熱容低、熱傳導系數低,從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。

(4)、爐膛氧化鋁絲細而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強  

(5)、爐膛表面光潔、不易掉粉。

(全部通過UL認證的進口電器)

1、移相觸發(帶軟啟動和限流功能)

2、限流功能︰無論怎麼樣設置升溫速率,我們電爐的二次電流始終被限制在170A以內,有效的保護了設備。由于采用限流功能,高溫下可開爐門。如果您使用的電爐需要在升溫過程中對爐子的升溫速率進行限制(例如︰規定在1400℃後不

得超過3℃/min等)即采用非限流觸發器。升溫速率設置錯誤或者升溫速率過快、這時電流會非常大,設備會跳閘或燒壞。

3、軟啟動功能︰開機時電流會慢慢增大,對加熱元件的沖擊較小,有利于加熱元件壽命的延長

4、保護功能︰如果電流超過限制電流、觸發器會自動切斷觸發功能以切斷電流保護電爐。


1、變壓器電纜為純銅

2、變壓器聲音小

3、變壓器溫身低


 



 



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